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中科院最新推出RFG系列高端2000W射频电源(3U风冷系列)
为满足半导体设备客户的需求,中科院射频电源组()经过2个月的设计研发,于2013年3月正式推出固态RFG-2000高端型射频电源(3U风冷系列),此型号适用于大腔室刻蚀等半导体设备。此型号带有RS232/RS485/USB通讯协议,模拟口通讯,脉冲调制,相位同步与移相等功能。
固态RFG-2000高端型射频电源(3U风冷系列)
中国科学院微电子所射频电源(RF Generator)课题组从1984年开始研发电子管射频电源(13.56同时也使得车辆模块化设计、快速试制等成为可能MHz),1985医用塑料论坛nbsp;拨开医用塑料新商机年研制成功500W-10KW电子管射频电源,获得 六五 攻关荣誉证书以及 FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究 项目二等奖。
从2010年开始在极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项(国家02重大专项)项目资金支持下,研发晶体管射频电源(13.56MHz),2011年研发成功300W-3000W晶体管射频电源,获得第七届国际发明展览会银奖。
经过二十多年的发展完善,产品的性能不断提高,规格齐全, 目前开发成熟的电子管与晶体管射频电源产品有:300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多种规格以及不同功率的400KHz高频电源及不同功率的稳流源与自动匹配器。
年销售电子管与晶体管射频源占国内市场份额的70%以上。
目前射频电源组,实行组长负责制,下设三个部门:产品研发部,产品生产部,产品推广与售后服务部。
产品研发部:实行部长负责制,有专业研发人员7人,其中硕士及以上比例100%,具有教授级职称2人,具有博士学历3人,从清华大学,中科院电工所,中国科学技术大学引进资深射频技术与自动控制专家3应及时更换密封圈或组合垫;人,目前已建立起一支由高级研发顾问领导的国际化抗菌塑料或将迎来良好发展研发人才团队。
产品生产部:实行部长负责制,有专业技术工程师17人,具有500平方专业射频电源生产与测试车间(可以进行ESD,EMC等测试),年生产能力达3000台套,库房常年备有库存,可保证给客户随时发货。
产品推广与售后服务部:实行部长负责制,有专业推广销售人员4人,专业售后服务人员2人,其中硕士及以上比例100%。
射频电源广泛应用于等离子体研究,集成电路工艺设备,太阳能光伏工业,LED制程,薄膜生长,射频感应加热,医疗领域的消毒与理疗美容,常压等离子体消毒清洗等领域。
中国科学院微电子研究所射频电源组址:
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